我國半導體之殤--光刻機與光刻膠

光刻膠是由感光樹脂、增感劑和溶劑等主要成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下，進行光化學反應，經曝光、顯影等過程，將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的襯底上，然后進行蝕刻等工藝加工，得到所需圖像。

光刻膠是微制造領域重要的材料，1959年被發明以來，就成為半導體工業核心的工藝材料。光刻膠在隨后的發展中被廣泛應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制作，是微細加工技術的關鍵性材料。

目前光刻膠領域基本被國外巨頭公司壟斷。我國主要生產PCB光刻膠。而LCD光刻膠與半導體光刻膠嚴重依賴進口。國產率不足2%。高分辨率的 KrF 和 ArF 光刻膠，其核心技術基本被日本企業所壟斷，產品也基本出自日本，包括陶氏化學、 JSR 株式會社、信越化學、東京應化工業、 Fujifilm，以及韓國東進等企業。

下圖為國內光刻膠產業劃分，由圖可見，LCD，芯片所用光刻膠嚴重依賴進口。

由于光刻膠的生產具有保密性強，生產工藝復雜的特點，而且從投入研發到生產，須要由下由企業研究新產品時一同導入才會有機會使用。否則一般企業是不會使用陌生的光刻膠。哪怕是具有知識產權，性能先進等。

因為下游企業需要對整個光刻工藝作更改，涉及的環節眾多。而且光刻膠價值在整個IC價值鏈中所占也只有4%的份額。

屬于用量少，價值高的產品。而且一旦產品質量發生問題，會造成嚴重后果。

2019年1月28日，臺積電爆出一起事故，上萬片晶圓因為使用的不合格光刻膠導

致報廢。受影響客戶包括蘋果（ Apple ）、高通（ Qualcomm ）、 Nvidia 、 AMD 、海思、聯發科等六大客戶，公司也指出此事件讓一季營收減少 5.5 億美元，毛利率減少 2.6 個百分點。而臺積電光刻膠供應商為日商信越、JSR等，以及美商陶氏電子（Dow Electronic Materials）等。都是世界好的的光刻膠生產商?？梢姽饪棠z生產之復雜。