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    納米壓印設備的制作方法

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    納米壓印設備的制作方法

    發布日期:2016-07-27 作者: 點擊:

    納米壓印設備的制作方法

    背景技術:

    隨著半導體技術及其精密零部件的不斷發展,納米級的技術應用越來越廣泛,從而納米壓印設備越來越廣泛的應用到各行各業?;诂F在市場的需要,加上現階段納米壓印設備結構單一,自動化程度低,模板定位不準確,壓印過程中的壓印力誤差大,對壓印過程中的溫度控制不準確,曝光時間長及相關參數控制誤差大等缺點,本發明很好的填補了市場空白。解決了以上技術難題。



    技術實現要素:

    本發明要解決的技術問題是如何克服現有技術的不足,提供一種納米壓印設備。

    本發明為實現上述目的采用的技術方案是:納米壓印設備,包括壓印殼體和工作臺,工作臺位于所述壓印殼體的下方,所述壓印殼體中部設有空腔,底部邊緣設有回轉夾緊氣缸,側面設有進氣管道和出氣管道,壓印殼體的頂部安裝有觀察窗口,所述觀察窗口的下端設有可移動的UV LED面燈,所述壓印殼體的內腔中的中部設有密封玻璃,用以隔絕UV LED面燈和觀察窗口,形成對壓印殼體中部空腔的上端密封。所述工作臺包括伺服升降臺、工作盤、支撐盤和加熱盤,所述加熱盤固定在所述工作盤的下端,底面固定在伺服升降臺上,支撐盤套接在加熱盤的外緣。

    進一步,所述工作盤上表面設有若干均勻排布的真空槽,用以采用氣壓差的形式進行固定工作盤上需要夾持操作的工件,其底部通過PU管道連接有真空泵。

    進一步,所述加熱盤上設有用溫度監測器,用以監測工作臺的溫度。

    進一步,所述真空槽的間隙處設有若干規則排布的定位銷,定位銷底部對應設有若干并聯的氣缸,所述定位銷為氣缸的伸縮桿。

    進一步,所述進氣管道上連接有氣源泵,其上設有壓力調節器,所述出氣管道的尾端設有壓力傳感器。

    進一步,所述回轉夾緊氣缸用以在壓印殼體的空腔底部夾緊模板,使得模板與空腔之間形成密閉的壓力腔,并進一步通過壓印殼體上的進氣管道和出氣管道來控制該壓力腔的壓力。

    進一步,還包括控制器,所述控制器有線或無線連接有HMI,所述控制器與所述壓印殼體和工作臺相連,用以控制壓印殼體中的回轉夾緊氣缸、UV LED面燈、氣源泵,以及控制工作臺與所述壓印殼體之間協調運行。

    進一步,所述回轉夾緊氣缸的回轉夾緊端與欲夾緊的板材之間設有密封圈,所述密封圈為矩形硅膠面,其中部開設有通孔,工作臺利用密封圈上的通孔實現與模板的直接接觸。

    本發明的優點在于:采用壓力調節器和壓力傳感器聯合恒壓調節,通過自動反饋調節,實現壓印力的線性調節;控溫系統采用PID控制,控溫準確,溫度穩定性和誤差遠遠小于當前市場上的設備,且采用UV LED面燈,相比點光源和汞燈,曝光時間短、光照分布均勻、產生熱量小,工作效率高。

    納米壓印設備的制作方法

    本文網址:http://www.jnycxf.com/news/374.html

    關鍵詞:納米壓印設備,納米壓印,納米壓印設備的制作方法

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