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    納米壓印技術的?熱壓印什么?

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    納米壓印技術的?熱壓印什么?

    發布日期:2019-01-25 作者: 點擊:

    納米壓印技術是目前納米溝道加工的主要技術。傳統的光刻技術主要是利用電子和光子改 變光刻膠的物理化學性質,進而得到相應的納米圖形。而納米壓印技術則可以在不使用電子和 光子的前提下,直接利用物理學機理機械地在光刻膠上構造納米尺寸圖形。正是由于這種機械 作用,使得納米壓印技術不再受到光子衍射和電子散射的限制,可大面積地制備納米級圖形。 同時,由于這項技術所用的設備簡單,制備時間短,壓印模板可以重復使用,所以應用該技術 制備納米圖形所需的成本也較低。


    這種技術早由普林斯頓大學的 Chou 等學者提出[1]。研究出來的納米壓印技 術是熱壓印(Hot embossing),隨著研究的不斷深入,一些改進的納米壓印技術也隨之誕生。 這些改進的納米壓印技術主要有:滾軸納米壓印技術( RNIL)、紫外固化壓印技術(UV-NIL) (包括步進-閃光壓?。⊿-FIL))、微接觸印刷(UCP)、反納米壓印技術(R-NIL)、光刻結合壓 ?。–NP)和激光輔助壓?。↙ADI)等[2]。當然科研者們也正在開發更多的方法,這些改進納米壓印技術原理基本一致,只是工藝變得更簡單、實用和廉價.


    熱壓印(Hot embossing) 熱壓印(Hot embossing)是早開發出的納米壓印技術,相對其他技術,它也是被研究的 充分,應用的廣泛,是目前納米壓印技術的主流技術。

    熱壓印模板的制備[3] 模板的制備是整個熱壓印過程當中關鍵的一步,因為納米壓印技術的核心思想是圖形 的復制與轉移,整個技術實現的前提是模板須具備高分辨率、穩定、可重復使用特性。目前 分辨率高的曝光技術是電子束直寫曝光技術,它的分辨率可高達 5nm,其過程如下:(1)涂 敷聚合物:將對電子束敏感的聚合物(如 PMMA)涂敷到平整的基底上;(2)制備聚合物圖形: 電子束按照預定的圖形程序在聚合物表面掃描曝光,被曝光區域的聚合物斷鍵或分解,溶解在 特定的溶劑中。而未被掃描的區域則不溶(即顯影),在基底上制備聚合物圖形;(3)轉移聚 合物圖形:經過真空蒸鍍金屬、剝離、反應離子刻蝕等工序,將聚合物圖形轉移到金屬或基底 上。這里的基底材料通常是 SiO2。

    納米壓印技術

    本文網址:http://www.jnycxf.com/news/386.html

    關鍵詞:納米壓印技術,納米壓印,熱壓印模板

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