光刻是集成電路重要的加工工藝,在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術。光刻也是制造芯片的關鍵技術,他占芯片制造成本的35%以上。
在如今的科技與社會發展中,光刻技術的增長,直接關系到大型計算機的運作等高科技領域。
光刻技術與我們的生活息息相關,我們用的手機,電腦等各種各樣的電子產品,里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會,各種各樣的信息流在世界流動。而光刻技術是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。
光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區做出來。利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。
光刻技術是一種精密的微細加工技術。常規光刻技術是采用波長為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實現圖形的變換、轉移和處理,把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質層上的一種工藝。