1利用掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡的納米加工技術

2化學合成方法

化學合成方法是制備納米尺度電子學器件的另一種途徑——用化學過程“自下而上”地把微觀體系的物質單元組裝成納米器件。由于用納米探針進行機械合成很難同時組裝數目巨大的納米結構和器件，所以研究化學合成方法非常重要。

3聚焦離子束技術

聚焦離子束(FIB)技術是在電場和磁場的作用下，將離子束聚焦到亞微米甚至納米量級，通過偏轉系統及加速系統控制離子束，實現微細圖形的檢測分析和納米結構的無掩模加工。

4準分子激光直寫納米加工技術

準分子激光(excimer laser)以其高分辨率、光子能量大、冷加工、“直寫”特點、無環境污染以及對加工材料廣泛的適應性，使其成為一種重要的MEMs和納米加工技術。其加工系統原理如圖3所示。

5納米壓印技術

于20世紀90年代中葉誕生的納米壓印(naIloimprim limography，NIL)技術，近來被國外稱為“將改變世界的十大新興技術”之一。NIL技術的概念可說是源自于我們日常生活中蓋印章的行為，此動作可將原來在印章上的圖形壓印到另外一件物體表面上。