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            納米壓印技術加工過程

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            納米壓印技術加工過程

            發布日期:2020-07-23 作者: 點擊:

            納米壓印技術分為三個步驟。


            一是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段,在硅或其他襯底上加工出所需要的結構作為模板。由于電子的衍射遠小于光子,因此可以達到遠高于光刻的分辨率。


            二是圖樣的轉移。在待加工的材料表面涂上光刻膠,然后將模板壓在其表面,納米壓印軟模板采用加壓的方式使圖案轉移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,防止模板與材料直接接觸,損壞模板。


            三是襯底的加工。用紫外光使光刻膠固化,移開模板后,納米結構復制用刻蝕液將上一步未完全去除的光刻膠刻蝕掉,露出待加工材料表面,然后使用化學刻蝕的方法進行加工,完成后去除全部光刻膠,得到高精度加工的材料。

            納米壓印軟模板

            本文網址:http://www.jnycxf.com/news/465.html

            關鍵詞:納米壓印軟模板,納米微球鎳模板,納米結構復制

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