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量產型全自動六位納米壓印機
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量產型全自動六位納米壓印機
所屬分類:
設備區
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發布日期:
2019/06/25
在線詢價
詳細介紹
基本參數:
1、包含六套帶加熱臺頂升機構及六套紫外曝光機構,各套可同時運行或單獨運行;
2、可實現軟模自動更換和晶圓的智能上下料與傳送;
3、支持6英寸晶圓壓??;
4、生產效率80-120片/小時;
5、可實現100nm結構轉移;
6、壓印模板和襯底間的壓力由潔凈干燥空氣或氮氣提供,壓印壓力可調;
7、觸摸屏操作,可選電腦控制;
8、適用于軟模板壓??;
9、具有安全報警裝置,并配備相關備品備件包。
如需進一步了解產品信息,請與我司聯系。
本文網址:http://www.jnycxf.com/product/563.html
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