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量產型全自動六位納米壓印機

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量產型全自動六位納米壓印機

所屬分類：設備區
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發布日期：2019/06/25
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詳細介紹

基本參數：

1、包含六套帶加熱臺頂升機構及六套紫外曝光機構，各套可同時運行或單獨運行；

2、可實現軟模自動更換和晶圓的智能上下料與傳送；

3、支持6英寸晶圓壓??；

4、生產效率80-120片/小時；

5、可實現100nm結構轉移；

6、壓印模板和襯底間的壓力由潔凈干燥空氣或氮氣提供，壓印壓力可調；

7、觸摸屏操作，可選電腦控制；

8、適用于軟模板壓??；

9、具有安全報警裝置，并配備相關備品備件包。

如需進一步了解產品信息，請與我司聯系。

微納結構

本文網址：http://www.jnycxf.com/product/563.html

關鍵詞：納米壓印機,納米壓印機廠家,納米壓印機哪家好

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