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    量產型全自動六位納米壓印機

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    量產型全自動六位納米壓印機

    • 所屬分類:設備區

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    • 發布日期:2019/06/25
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    • 詳細介紹

    基本參數:

    1、包含六套帶加熱臺頂升機構及六套紫外曝光機構,各套可同時運行或單獨運行;
    2、可實現軟模自動更換和晶圓的智能上下料與傳送;
    3、支持6英寸晶圓壓??;
    4、生產效率80-120片/小時;
    5、可實現100nm結構轉移;
    6、壓印模板和襯底間的壓力由潔凈干燥空氣或氮氣提供,壓印壓力可調;
    7、觸摸屏操作,可選電腦控制;
    8、適用于軟模板壓??;
    9、具有安全報警裝置,并配備相關備品備件包。

    如需進一步了解產品信息,請與我司聯系。


    微納結構

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    關鍵詞:納米壓印機,納米壓印機廠家,納米壓印機哪家好

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