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    硅模板

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    硅模板

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    • 發布日期:2019/06/21
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    硅模板  

    微接觸壓印光刻(Microcontact-NIL) 微接觸壓印光刻技術要先通過光學或電子束光刻得到模版。模具材料的化學前體在 模版中固化,聚合成型后從模版中脫離,便得到了進行微接觸印刷[百科 微博]所要求的模 具。常常要得到的模具是 PDMS,接著,PDMS 模具浸在含有硫醇的試劑中,然后將浸過試 劑的模具壓到鍍金襯底上,襯底可以為玻璃、硅、聚合物等多種形式。另外,在襯底上可以 先鍍上一薄層鈦層然后再鍍金,以增加粘連。硫醇與金發生反應,形成自組裝單分子層 SAM。 印刷后有兩種工藝對其處理。一種是采用濕法刻蝕,如在氫化物溶液中,氫化物的離子促使 未被 SAM 層覆蓋的金溶解,而由于 SAM 能有效地阻擋氫化物的離子,被 SAM 覆蓋的金被 保留,從而將單分子層的圖案轉移到金上。還可以進一步以金為掩模,對未被金覆蓋的地方 進行刻蝕,再次實現圖案轉移,另一種是在金膜上通過自組裝單層的硫醇分子來鏈接某些有 機分子,實現自組裝,如可以用此方法加工生物傳感器的表面。 2.微接觸印刷不但具有快速、廉價的優點,而且它還不需要潔凈間的苛刻條件,甚至不需要 平整的表面,微接觸印刷還適合多種不同表面,具有作用方法靈活多變的特點,該方面 缺點是在亞微米尺度,印刷時硫醇分子的擴散將影響對比度,并使印出的圖形變寬。通過優 化浸液方式、浸液時間,尤其是控制好模具上試劑量及分布,可以使擴散效應下降。      

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