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    納米壓印膠

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    納米壓印膠

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    • 發布日期:2019/06/21
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    光刻膠納米壓印關鍵材料,其性能將影響壓印圖形復制精度、圖形缺陷率和圖形向 底材轉移時刻蝕選擇性。提出了成膜性能、硬度粘度、固化速度、界面性質、抗刻蝕能 力等壓印光刻膠的性能指標。并根據工藝特點和材料成分對光刻膠分類,介紹了熱壓印光刻 膠、紫外壓印光刻膠、步進式光刻膠和滾動壓印式光刻膠的特點以及碳氧類純有機材料、有 機氟材料、有機硅材料做壓印光刻膠的優缺點。列舉了熱壓印、紫外壓印、步進壓印工藝中 具有代表性的光刻膠實例,詳細分析了其配方中各組分的比例和作用。介紹了可降解光刻膠 的原理。展望壓印光刻膠的發展趨勢。納米壓印用什么光刻膠

    納米壓印是受到廣泛關注的下一代光刻技術,高精度、高分辨率、廉價的特點使其很可 能成為下一代主流光刻技術,麻省理工大學的一篇評論稱之為可能改變世界的十大技術之一 [1]。經過十多年的發展,壓印技術被用于電子學[2,3]、生物學[4]、光學[5-7]等領域。壓印技術 本身也發生了巨大變化,逐漸發展為熱壓?。℉EL)、紫外壓?。║V-NIL)和步進壓印(SFIL) 以及滾動式壓?。≧oll to Rol)l 幾大壓印方式[8]。伴隨著壓印方式的變化,光刻膠研究也發 生了深刻的變革,由原本單一的熱塑性材料發展到熱固性材料、紫外固化材料;其成分也由 純有機物質拓展至有機硅雜化材料、含氟聚合物材料[9,10]。為了滿足不同條件下壓印需求, 研究者合成出了很多新材料,提出了很多新配方,很大的推動了材料學發展。

    納米壓印膠

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    關鍵詞:納米壓印光刻膠,無錫納米壓印膠,納米壓印用什么光刻膠

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